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台基股份高純水係統

台基半導體股份有限公司高純水係統采用雙級反滲透+混合床+拋光混合床工藝,產水電阻率18MΩ·CM以上,全不鏽鋼拋光設備,產水量40m3/h。現場設備運行圖片如下:

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預處理及反滲透設備

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預處理工藝為砂濾器+炭濾器+軟化器 

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軟化器及再生裝置

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雙級反滲透設備,全觸摸屏自動控製

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後處理為混合床+拋光混床組

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高純水電阻率大於18MΩ·CM